硅片切割,作为半导体制造过程中的关键步骤,其技术水平和材料选择直接影响到硅片的良率和生产效率。小编将深入探讨硅片切割装置及其核心部件,同时详细介绍硅片切割液的成分及其在切割过程中的重要作用。
1.硅片切割装置的组成
硅片切割装置是硅片生产中不可或缺的设备,其核心部件包括:
-砂浆存储箱:用于存储并提供砂浆,确保砂浆的连续供应。
砂浆出口及阀门:设置在砂浆出口处的可调节开关度的砂浆阀,用于控制砂浆的流量。
钢线传送装置:位于砂浆出口下方,负责将钢线平稳传输至切割位置。
面激光测量仪:实时检测切割中的钢线横截面面积,确保切割精度。
控制器:根据测量数据调整切割参数,保证切割过程的稳定性和效率。2.硅片切割液的成分及其作用
硅片切割液在切割过程中发挥着悬浮、冷却、润滑等多重作用,其成分主要包括:
-亲水性微粉:含量在0.1%-5%,有助于减少切割过程中的摩擦,提高切割效率。
亲水性溶剂:含量在20%-85%,作为溶剂,帮助其他成分更好地混合和发挥作用。
H调整剂:含量在1%-5%,用于调整切割液的H值,保持切割液的稳定性和安全性。
水:余量部分,作为溶剂和混合剂的基础。以下是一些具体的硅片切割液配方及其作用:
-高效润滑性化学合成切削液:用于提高切割效率,减少摩擦。
高效轴承磨切用切削液:适用于轴承的磨切过程,提高磨切质量。
高性能环保型半合成金属切削液:环保型配方,减少对环境的影响。
高性能镁铝合金切削液:适用于镁铝合金的切割,提高切割质量。
高性能水基全合成切削液:水基配方,适合于各种切割工艺。3.特殊成分与功能
在硅片切割液中,一些特殊成分具有独特的功能:
-SH-EG-Glucose:功能化聚乙二醇衍生物,具有亲核性,能与其他分子或材料进行共价结合。 SH-EG-DSE:具有双功能化学分子,其中的巯基(-SH)能与其他分子发生反应,形成稳定的硫醚键。
4.硅片切割液的市场信息
硅片切割液的市场信息丰富,包括生产商的工商注册年份、员工人数、年营业额、信用记录、主营产品等信息。例如,日华化学(***)有限公司,成立于2002年,是一家专业从事半导体级单晶硅减薄液研发和生产的公司。
5.硅片切割液的应用
硅片切割液在切割过程中起到悬浮、冷却、润滑等作用,保证切割工艺的顺利进行。其主要成分包括聚乙二醇、表面活性剂、螯合剂、有机醇、钼酸钠、油酸二乙醇酰胺硼酸酯和去离子水。根据需要,还可以添加消泡剂来减少泡沫对切割过程的影响。
硅片切割装置和硅片切割液在半导体制造中扮演着至关重要的角色。了解其组成、工作原理和市场信息,有助于提升硅片切割工艺的效率和质量。